Печі в інертній атмосфері, також звані анаеробними печами, призначені для термічної обробки з використанням неокислювальних газів, таких як азот, у герметизуючому середовищі, вони придатні для термічної обробки в атмосфері з низькою концентрацією кисню.
опис
Серія Inert Atmosphere Oven використовується у виробництві напівпровідників для попередньої обробки кремнієвих пластин, арсеніду галію, ніобату літію, скла перед PR-покриттям, твердої плівки після PR-покриття та високотемпературної випічки після прояву; Він також підходить для виробничих і науково-дослідних відділів, таких як електронний рідкокристалічний дисплей, LCD, CMOS, IS і лабораторій; його також можна використовувати для сушіння, термічної обробки, старіння та інших високотемпературних випробувань нелетких, негорючих і невибухонебезпечних предметів.
Основні параметри
►Технічні параметри
Місткість: налаштована відповідно до продуктів
Діапазон температур: навколишнє +50°C ~ 250°C
Вміст кисню: ≤50 ppm
Однорідність температури: ±2,5%
Швидкість нарощування: можна контролювати
Вхід азоту: Φ8
Потік азоту: 0-240 л/хв * 2 канали
►Структура
. Внутрішня духовка: виготовлена з нержавіючої сталі та зварена аргоном.
. Герметично закрита: камера герметична для зниження рівня кисню.
. Структура повітрозабірника: дозволяє неокислюючим газам заповнювати камеру.
. Аналізатор O2: точно регулюйте рівень кисню в межах від 0,5 до 21%
► Система контролю температури
Інтелектуальний терморегулятор JAPAN RKC, програми та налаштування фіксованих значень, автоматичне налаштування AT, корекція зсуву та утримання живлення при вимкненні.
► Примусова конвекція повітря
Запатентований повітропровід в системі циркуляції гарячого повітря може автоматично регулювати рівномірність температури.
Характеристики анаеробних (інертних) печей
► Герметично закрита студія з нержавіючої сталі для запобігання проникненню зовнішньої атмосфери
► Для анаеробної термічної обробки використовуйте інертний газ азот
► Обладнано витратомір і манометр
► Багатофункціональні захисні пристрої
Опції
► PLC+7” програмований контролер
► Триколірна миготлива світлова сигналізація
► Обмежувач перегріву
► Ручні запобіжні пристрої
Чому варто обрати печі з інертною атмосферою?
Зараз матеріали для електропроводки в ланцюгах змінилися з алюмінію на мідь з меншим питомим опором. Тому під час термічної обробки у звичайній сушильній шафі мідні деталі можуть окислюватися, спричиняючи дефекти. Крім того, також виконується старіння при 250 °C, щоб перевірити, чи дані, записані на флеш-пам’яті, були видалені через електроміграцію, а також чи не окислені частини виступів, тому вміст кисню потрібно зменшити до <100 ppm. Ця анаеробна піч була розроблена для задоволення цих вимог.
застосування
Печі в інертній атмосфері в основному використовуються для затвердіння клею BPO/клею PI/клею BCB, IC (пластини, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, високоточних електронних компонентів та інших матеріалів у середовищі з низьким вмістом кисню для випробувань на висихання та старіння. .